题目内容
(请给出正确答案)
[主观题]
微型传感器是MEMS最主要的器件类型。()
微型传感器是MEMS最主要的器件类型。()
此题为判断题(对,错)。
答案
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此题为判断题(对,错)。
第2题
A.特征尺寸通常是指集成电路中半导体器件的最大尺寸
B.特征尺寸在1mm-l0mm的为小型机械
C.特征尺寸在1um-1mm的为微型机构
D.特征尺寸在1nm-1um的为纳米机械